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热解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置的制造方法
发布时间 : 2021-04-02 06:14:22 浏览: 177次 来源:【jake推荐】 作者:-=Jake=-

热解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置的制造方法

[技术领域]

[0001]本实用新型属于化工机械领域,具体涉及一种制备四氟化硅气体的高温热分解方法。

Item.0

[背景技术]

[p] [0002]四氟化硅是电子和半导体工业中的重要原材料。它主要用作硅化钽,氮化硅等的蚀刻剂,P型掺杂剂以及用于外延沉积和扩散的硅源。用于制备电子级硅烷或多晶硅;由于四氟化硅在高温火焰中的水解,可制得比表面积大的散热片S12,还可用于制造光纤用高纯石英玻璃。在光纤生产技术中,四种氟化硅是用于制造硅基半导体器件的离子注入方法的重要组成部分;此外,四氟化硅还广泛用于水泥,电子材料,太阳能电池组件,复印机的感光鼓和超大型集成电路的生产中。随着激光在有机反应中的应用的发展,它也可以用作光敏剂。

[0003]常用的四氟化硅气体的制备方法包括硫酸法,氢氟酸法,S1-F2直接合成法和氟硅酸盐热解法。除了氟硅酸盐热解方法外,其他制备方法也需要引入酸或氟气,这增加了随后纯化四氟化硅的难度。氟硅酸盐热解法不需要引入其他反应物,该反应易于发生,操作风险小,并且设备材料要求低于硫酸法和氟硅酸法。氟硅酸盐可以预先纯化。通过热解获得的四氟化硅气体也易于进一步纯化。副产物氟化盐也是重要的工业原料。因此,该方法已成为制备电子级四氟化物的更常用和有希望的方法。硅气法。磷肥副产品氟硅酸钠产量大,价格低廉,已成为热分解制取四氟化硅气体的最常用原料。

[0004]然而,氟硅酸钠在加热过程中易于熔化和附聚,导致分解困难。解决方案通常是添加分解助剂,或者将反应装置设计为使用流化床或回转窑式。实际上氟硅酸钠 分解,将氟硅酸钠搅拌是为了避免结块的趋势。

[0005]在中国专利库中,与氟硅酸钠热解装置有关的应用为:2. 1“用于在流化床反应器中由氟硅酸盐生产四氟化硅的方法和系统”,2. X“通过回转窑制备四氟化硅的方法”,2. 6“在旋转反应炉中通过热裂解氟硅酸钠制备四氟化硅的方法”。上述专利技术可以在高温下分解氟硅酸盐来制备四氟化硅气体,但是要求高的耐腐蚀性和设备的强度。另外,它采用动态分解氟硅酸盐的方法(流化床或回转窑)。四氟化硅在生产过程中会产生大量的粉尘,增加了后续纯化四氟化硅的难度,无法完全避免结块。

[发明内容]

[0006]本实用新型的目的是提供一种通过氟硅酸钠的热解制备四氟化硅气体的装置,它提高了原料氟硅酸钠的热分解速率,大大提高了其分解率,不会产生团聚现象。灰尘,从而减少了随后纯化四氟化硅的难度。

[0007]本实用新型的目的及其主要技术问题是通过采用以下技术方案来实现的:一种通过水壶身和法兰盖的高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置,水壶主体中有一个托盘架氟硅酸钠 分解,并且可以在托盘架上放置多个加热托盘。加热托盘为环形带的形状。加热托盘具有外围折叠和中央折叠。外围褶皱和中央褶皱处有通风间隙;在釜的内壁上形成有排气通道,在中央凸缘之间形成有中央排气通道。法兰盖的顶部连接有出气管。

[0008]此外,法兰盖通过连接螺栓和垫圈连接到水壶本体。

[0009]使用时,将洗涤和纯化的氟硅酸钠放入加热托盘中,然后将加热托盘堆叠在托盘架上,放入分解釜体中,盖上法兰盖,然后将其放置。气体在加热炉中加热,并通过出气通道和中央出气通道从出气管中排出博亚体育 ,并经热交换器冷凝后收集。

[0010]与现有技术相比,本实用新型具有明显的优点和有益效果。从以上技术方案可以看出,本实用新型首次采用多层托盘分解氟硅酸钠,减小了原料的厚度,提高了原料氟硅酸钠的热分解率,并大大改善了分解和结块现象。 在加热过程中,氟硅酸钠和分解助剂处于静态,不产生粉尘,降低了后续纯化四氟化硅的难度。加热托盘用托盘架固定,以确保在此过程中运输分解反应器。翻倒不容易,要确保四氟化硅气体的排放通道畅通。

[图纸说明]

[0011]图1是本实用新型的结构示意图,

[0012]图2是图1的俯视图,

[0013]图3是本实用新型的加热盘结构示意图,

[0014]图4是本实用新型中托盘的堆叠示意图。

[0015]在图中标记:1、法兰盖凤凰彩票 ,2、出水管,3、水壶身,4、托盘架凤凰体育 ,5、加热托盘,6、折叠边缘,7、 ]中央折痕,8、排气间隙凤凰彩票app ,9、垫圈,1 0、连接螺栓,1 1、气体排放通道,1 2、中央气体排放通道。

[详细的实现方法]

[p] [0016]在下文中,参考附图和优选实施例,根据本实用新型[具体实施方式],通过高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅气体的装置,特征和效果,详细说明如下。

[0017]参见图1-4,通过热解氟硅酸钠制备四氟化硅气体的装置包括一个釜体3和一个法兰盖1。釜体3具有一个托盘架4和一个托盘架4。可以在加热托盘5上放置多个加热托盘5,加热托盘5为环形带的形状,加热托盘5具有外围折叠部6和中央折叠部7,外围上的通风间隙8折叠6和中央折叠7;外周折痕6在壶体3的内壁上形成有排气通路11,在中央凸缘7之间形成有中央排气通路12。法兰盖1的顶部连接有出气管2。

[0018]此外,凸缘盖1通过连接螺栓10和垫圈9连接到水壶本体3。

[0019]使用时,将清洗后的纯化的氟硅酸钠放入加热托盘5中,然后将加热托盘5堆叠在托盘架4上,放入分解容器3中,并盖上法兰。放置在加热炉中加热,得到四氟化硅气体,该四氟化硅气体通过气体排放通道11和中央气体排放通道12从出气管2排出,并在经过热交换器冷凝后收集。

[0020]本实用新型采用分片薄层分解法,避免了氟硅酸钠的熔化和附聚,提高了分解产率;静态加热分解法避免了物料粉尘的产生,更有利于四氟化硅气体的后续净化。

[0021]以上仅是本实用新型的优选实施例,并不意图以任何形式限制本实用新型。任何不背离本实用新型的技术方案的内容均基于本实用新型的技术实质。对以上实施例所作的任何简单修改,等同变化和修改,均仍属于本发明技术方案的范围。

[主权物品]

1.一种通过高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置,其特征在于,该装置包括釜体(3)和法兰盖(1),釜体(3)具有托盘)机架(4),多个加热托盘(5)可以放在托盘机架上[4)万狗体育 ,加热托盘(5)为环形皮带的形状)),加热托盘(5))具有全方位折叠(6),中央褶皱(7),周围褶皱(6)和中央褶皱(7)具有通风间隙(8);周围褶皱(6)釜体的内壁(3)形成气体排放通道(1 1),中央法兰(7)也形成中央气体排放通道(1 2);法兰盖(I)的顶部2.根据权利要求1所述的氟硅酸钠热解制备四氟化硅的装置,其特征在于:所述法兰盖(I)与所述锅体相连。 y(0)和垫圈(9)与阀体(3) Connect。

<专利>本实用新型公开了一种通过氟硅酸钠的热解制备四氟化硅的装置。其特征在于,它包括一个水壶体(3)和一个法兰盖(1),水壶体)。(3)有一个托盘架(4),可以有多个加热托盘(5))))。放在托盘架(4)上,加热托盘(5)为环形带的形状,加热托盘(5)具有四个侧面))翻边(6)和中央翻边(7),周围的法兰(6)和中央的法兰(7))有通风间隙(8);周围的法兰(6)和釜体(3)),内壁形成气体排放通道(1 1),中央法兰(7)还会形成中央气体排放通道(1 2);法兰盖(1)连接到出气管([k56)]的顶部);法兰盖(1)通过连接螺栓(1 0)和垫圈(9))与釜体(3))连接。本实用新型采用单独的盘片和静态方法对氟硅酸钠进行加热分解,制备出四种氟化硅气体。具有简单开发的优势冰结构,强度要求低,易于制备高纯度四氟化硅气体。

[IPC分类] C01B33 / 107

[公开号] CN204643859

[申请号] CN2

[发明人]张建刚,陈学航,高文龙,冯永玉

[申请人]贵州省产品质量监督检验所

[公开日] 2015年9月16日

[申请日期] 2015年6月4日

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